国外电子气技术进展及对发展我国特气行业的建议被引量：1

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摘要论述了兆位级集成电路制造对气体的需求,ULSI级气体品种及质量标准,国外电子气新品种的开发,电子气的“超纯”、“超净”技术,对发展我国特气行业提出了15条建议。

作者梁国仑

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1992年第4期1-9,共9页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词电子气特种气体气体

同被引文献13

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低温与特气

1992年第4期

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