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气体中的颗粒与金属杂质探讨被引量：1

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摘要气体中的杂质有气态杂质和悬浮颗粒,而颗粒是由很复杂的金属、非金属,无机化合物、有机化合物组成的,并有一定浓度的常见元素。鉴于气体中的颗粒不能绝对完全被分离,国内目前只能分离出大于0.2μm以上的颗粒,因此,有关对气体中金属、非金属的分析研究值得商榷。

作者尹恩华

机构地区中国科学院半导体研究所

出处《低温与特气》 CAS 1992年第2期8-11,共4页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词电子气金属杂质气体

分类号 TQ116 [化学工程—无机化工]

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低温与特气

1992年第2期

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