二氯二氢硅的气相色谱法分析被引量：2

下载PDF

导出

摘要叙述了采用普通色谱仪完成极易水解的电子级二氯二氢硅的全组份在线检测和产品质量分析的方法。自行设计安装了一套真空取样装置,解决了对易水解、有毒、不能接触空气等杆品取样的难点,避免了样品对仪器的腐蚀,提高了仪器的使用寿命;在较好的色谱条件下,获得了满意的结果。该法简便、可靠、灵敏度和准确度均可满足对纯度为97％的电子级二氯二氢硅产品分析的要求。

作者修先运

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1991年第2期42-46,共5页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词气相色谱法二氯二氢硅电子气

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]

引文网络
相关文献

同被引文献13

1朱新芳,李卜森,张琪.FT－IR法测量高纯四氯化硅中的微量三氯氢硅[J].光谱学与光谱分析,1994,14(2):35-38. 被引量：6
2李卜森,朱新芳,张琪.光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的气相色谱分析[J].色谱,1994,12(2):108-109. 被引量：5
3张彬,姜淑芬,陈清让.气相色谱仪使用气体的纯度和选择原则探讨[J].酿酒,2006,33(1):46-47. 被引量：3
4王淑娟,周玉珍.二氯二氢硅中痕量碳、磷杂质的测定[J].低温与特气,1996,14(3):55-57. 被引量：2
5惠红光.三氯氢硅装置主要设备布置及吊装方案[J].化工生产与技术,2006,13(6):47-49. 被引量：6
6孙福楠,陈国忠,冯庆祥.电子级二氯二氢硅的气相色谱分析[J].辽宁化工,1996,25(6):50-53. 被引量：2
7何加华,王小辉.三氯氢硅气相色谱分析中常见问题及处理[J].氯碱工业,2007,43(B06):72-73. 被引量：1
8气相色谱法应用于半导体硅材料制备工艺中碳的测定[J]上海金属.有色分册,1991(05).
9上海化工研究院物化室.气相色谱法用于三氯氢硅的组分分析[J]上海化工,1977(02):34-37.
10苏维.多晶硅生产的节能减排措施[J].有色金属加工,2008,37(2):57-59. 被引量：14

引证文献2

1郑华荣,刘英杰,柯尊斌.气相色谱法测定三氯氢硅中氯硅烷含量[J].现代冶金,2013,41(6):20-22. 被引量：4
2温文兵,孙红艳,祁娜.影响气相色谱法分析三氯氢硅的因素讨论[J].中国氯碱,2014(1):31-32. 被引量：3

二级引证文献5

1于晓艳,陶明,左世芳,杨红燕,李亚娜,张永凤,赵建为.分子直径法计算相对校正因子在气相色谱法测定三氯氢硅含量中的应用[J].理化检验（化学分册）,2016,52(2):183-186.
2任国杨,杨红燕,吴偲偲.气相色谱在多晶硅生产过程中对中间过程物料分析检测的应用进展[J].云南化工,2018,45(2):56-58. 被引量：1
3李辉,宗凤云.气相色谱法测定硅烷法生产多晶硅的尾气中硅烷的含量[J].理化检验（化学分册）,2019,55(4):477-479. 被引量：2
4刘蕊,杨素芬,谷利敏,时智宝,汪敬恒.三氯氢硅副产物氯硅烷废液的处理方法研究[J].河南科学,2020,38(3):423-428. 被引量：2
5何孟,吴岷贤,李剑波,刘涛,吴加勇.气相色谱与质谱联用在多晶硅生产上的应用进展[J].石化技术,2024,31(1):77-81. 被引量：1

1张方明.电子气在使用过程中对保持纯度的要求[J].低温与特气,1984,2(1):47-48.
2梁国仑.国外电子气技术进展及对发展我国特气行业的建议[J].低温与特气,1992,10(4):1-9. 被引量：1
3尹恩华.气体中的颗粒与金属杂质探讨[J].低温与特气,1992,10(2):8-11. 被引量：1
4赴美,日技术考察二[J].化工科技动态,1994(7):19-23.
5张凤林.电子级高纯氯化氢的研制[J].低温与特气,1990,8(2):32-38. 被引量：7
6袁艳荣.电子气中微量水的分析[J].低温与特气,1990,8(2):51-56.
7曾德辉.电子气研制国内、外概况及发展趋势[J].低温与特气,1986,4(2):1-5.
8彭永清,李建平,尹恩华.无污染进样法分析电子气中的痕量氧[J].低温与特气,1989,7(4):56-58.
9韩美,田波,林刚,陈晓惠.日本的标准气、电子气、灯泡气和激光气使用现状[J].低温与特气,1998,16(3):1-8. 被引量：2
10梁国仑.特种气体的现状和开发方向[J].低温与特气,1984,2(4):1-8. 被引量：1

低温与特气

1991年第2期

浏览历史

内容加载中请稍等...

二氯二氢硅的气相色谱法分析被引量：2

同被引文献13

引证文献2

二级引证文献5

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

二氯二氢硅的气相色谱法分析 被引量：2

同被引文献13

引证文献2

二级引证文献5

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

二氯二氢硅的气相色谱法分析被引量：2