砷烷/磷烷监测报警仪的研制被引量：2

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摘要基于火焰光度法原理工作的砷烷/磷烷监测报警仪可对半导体及电子工业生产中使用的砷烷/磷烷进行TLV级的监测报警,对砷烷的最小检测浓度为0.004×10^(-6),对磷烷的最小检测浓度为0.003×10^(-6),响应时间不大于30s。该仪器不仅检测灵敏度高,响应速度快,抗干扰能力强,而且性能稳定,可连续自动监测,操作简便,能满足现场监测要求。

作者许峰岩

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1993年第2期65-69,78,共6页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词报警仪砷烷磷烷半导体气体

分类号 TN104.7 [电子电信—物理电子学]

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低温与特气

1993年第2期

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