电子级高纯氯化氢的研制被引量：7

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摘要一引言高纯氯化氢是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一。我国电子工业所用高纯氯化氢过去大多是从美、日等国进口。由于进货不及时,且价格昂贵,国内只好采用硫酸洗涤除氯化氢中的水,或用盐酸脱析制得纯氯化氢气体,这就使水份等杂质含量高,严重影响了电子元件的质量。1983年,我所接受了研制高纯氯化氢的任务。经过3年努力,已于1986年制得合格产品。

作者张凤林

机构地区北京市特种气体研究所

出处《低温与特气》 CAS 1990年第2期32-38,共7页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词氯化氢研制电子气

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]

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低温与特气

1990年第2期

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