摘要
近年来,聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势,广泛应用于材料科学、微纳加工、半导体器件制造中。尤其是其精密加工和定位加工的特点,获得了众多研究者的青睐。本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用。
In recent years, focused ion beam scanning electron microscope （FIB） become a new method in material science, micro-nanofabrication, semiconductor device manufacturing applications becouse of its unique advantage. In this paper, the applications of FIB dual beam system in material research was intro- duced.
出处
《分析仪器》
CAS
2014年第1期114-118,共5页
Analytical Instrumentation
关键词
聚焦离子束扫描电镜(FIB)
双束系统
应用
focused ion beam scanning electron microscope （FIB）
dual beam
application
