摘要
研究了具有宏 /微双重驱动定位工作台的滑模变结构控制技术 .该工作台采用直线电机进行大行程位移驱动 ,来保证较大的工作行程和较快的响应速度 ,采用压电陶瓷微位移器完成精密位移驱动 ,利用光栅尺实现闭环位移反馈 ,可以实现 10 0mm的工作行程 ,0 .0 1μm的重复定位精度 .
In this paper,a sliding mode variable structure control method is proposed for a macro/micro dual-drive positioning system. A linear motor and a PZT actuator is adopted in this system to drive the platform,so large travel and fast response are ensured. A linear encoder is utilized to realize closed-loop displacement feedback. As a result,the system gets a travel range of 100mm and a postioning repeatability of 0.01μm.
出处
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2004年第1期32-34,共3页
Robot
基金
国家 8 63计划资助项目 (2 0 0 1AA42 31 1 0 )
关键词
宏/微驱动
直线电机
PZT驱动器
滑模变结构控制
macro/micro drive
linear motor
PZT actuator
sliding mode variable structure control
