大行程高精度宏／微双重驱动机器人系统的研究被引量：5

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摘要研究了具有宏／微双重驱动定位工作台的控制技术。该工作台采用直线电机进行大行程位移驱动，来保证较大的工作行程和较快的响应速度，采用压电陶瓷微位移器完成精密位移驱动，利用光栅尺实现闭环位移反馈，可以实现lOOmm的工作行程，10nm的重复定位精度。

作者孙立宁孙绍云曲东升王力蔡鹤皋

机构地区哈尔滨工业大学机器人研究所哈尔滨

出处《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2004年第4期50-52,共3页 Chinese High Technology Letters

关键词宏/微机器人系统直线电机 PZT驱动光栅闭环位移反馈结合动力学

分类号 TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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