摘要
通过分析超精密工件台系统的研究现状和存在问题及电流变液ERF 的机理和应用现状,提出“基于ERF 半主动阻尼的直线电机驱动- 气浮/ 磁浮导轨”纳米级超精密工件台系统。介绍了国内外相关研究,分析了此工件台系统具有的特性及尚待解决的问题。
By analyzing ultra-precision table systemed researching status and the principle of electrorheological fluid, an ‘ERF semi-active damper based on linear motor drive-air/magnetic guide way’nanometer positioning table system is put forward. The relevant researches are intro- duced and its properties and problems unsolved are discussed.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期11-12,17,共3页
Semiconductor Technology
关键词
超精密工件台
电流变液ERF
半主动阻尼
ultra-precision table system
electrorheological fluid
semi-active damper
