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微波ECR等离子体辅助物理汽相沉积技术
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摘要
微波电子回旋共振（ＥＣＲ）能够在低气压下产生高密度、高电离度的等离子休．这种等离子体是离子镀最合适的等离子体源，可广泛地应用于等离子体沉积薄膜和表面处理的新工艺，生产高质量的各种金属薄膜、氮化物膜，碳化物膜、氧化物膜、硅化物膜及其他化合物膜．本文着重介绍微波ＥＣＫ等离子体辅助物理汽相沉积（ＥＣＲＰＰＶＤ）技术．
作者
任兆杏
盛艳亚
史义才
机构地区
中国科学院等离子体物理研究所
出处
《物理》
CAS
北大核心
1990年第8期497-499,共3页
Physics
关键词
等离子体
ECR
ECRPPVD
微波
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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