摘要
发展了一种新型的微波电子回旋共振等离子体（ＥＣＲ）辅助反应蒸发沉积薄膜的方法，并且使用它成功地在低气压（１０￣（－２）Ｐａ）、低温基片（３０～１００℃）上，不作后处理，直接制备出了附着力强，透光率高于８５％，方阻低于１００Ω／□的ＩＴＯ膜。
Conductive and transparent indium tinoxide(ITO)thin films were prepared by an enhacedreactive deDOsition with microwave electron cvclotronresonant plasma。 During deposition low oxygenDressure(10￣(-2)pa)and low substrate temDeratures(30-100℃)were used.The films had goodadhesion,low sheet resistance(<100Ω/□).andhigh optical transmmitance (>85%)。
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
1995年第5期405-408,共4页
Journal of Functional Materials
基金
江苏省科委
教委自然科学基金
