用于强流离子注入的气体—金属弧离子注入机被引量：3

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摘要本文介绍了新型的TITAN离子注入系统的结构、特点及工作原理。TITAN源设计思想新颖,是DENNING源与MEVVA源的有机结合,它能给出气体离子,也能给出金属和气体的混合离子,在金属材料改性方面具有潜在的应用前景。笔者对该系统的技术特性及优缺点进行了评述。

作者黄拿灿黎炳雄胡社军黄小平谢光荣

机构地区广东工业大学

出处《国外金属热处理》 1997年第5期14-16,共3页 Heat Treatment of Metals Abroad

关键词金属材料改性离子注入离子注入机

分类号 TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]

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