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对高纯,洁净气体输送管道施工验收技术的探讨被引量：3

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摘要前言微电子技术已成为当今世界各项尖端技术和新兴产业发展的前导与基础。有了微电子技术的超前发展,便能有效地推动其它部门前进。如各种卫星(广播通讯、农业、气象、资源、侦察、导航卫星等),空间实验站和星际间往返系统等。

作者张洪雁

机构地区航空航天部第七设计研究院

出处《低温与特气》 CAS 1990年第4期13-18,共6页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词特种气体输送管道验收电子气

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]

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相关文献

参考文献2

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共引文献4

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3高孟琦,赵洲,汪瑜,闫娇.基于知识图谱的高洁净管道工程全流程研究现状与演进趋势[J].清洗世界,2025,41(4):77-79.
4高孟琦,赵洲.基于知识图谱的高洁净管道工程全流程研究现状与演进趋势[J].洁净与空调技术,2025(4):14-18.

同被引文献44

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引证文献3

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2高孟琦,赵洲,汪瑜,闫娇.基于知识图谱的高洁净管道工程全流程研究现状与演进趋势[J].清洗世界,2025,41(4):77-79.
3高孟琦,赵洲.基于知识图谱的高洁净管道工程全流程研究现状与演进趋势[J].洁净与空调技术,2025(4):14-18.

二级引证文献2

1李志华,雷虹.浅谈洁净室内高纯气体管道施工[J].洁净与空调技术,2010(3):50-51. 被引量：3
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低温与特气

1990年第4期

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