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半导体用特种气体的处理方法——干法处理装置被引量：2

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摘要在硅半导体生产中，作为单晶硅、氮化膜、氧化膜气相成长用气；作为硅铝膜蚀刻用气，需消耗多种氢化物(如甲硅烷、砷烷、磷烷)和卤化物(如三氯化硼、三氟化硼、氯化氢)。作为光电管和高速管用而大有希望的Ⅲ-V族半导体的生产过程中，同样消耗这类气体。

作者猪口尚伊滕文夫刘懋才

出处《低温与特气》 CAS 1988年第1期22-26,共5页 Low Temperature and Specialty Gases

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工] X703 [环境科学与工程—环境工程]

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1张轲,牛焱,潘太军,吴维.Corrosion behavior of NiCr alloys in HCl-containing oxidation atmosphere at 700800 ℃[J].中国有色金属学会会刊：英文版,2004,14(3):543-549. 被引量：3
2刘忠国,杨秀莲.高纯HCl中微量烃类杂质的分析[J].低温与特气,1987,5(1):42-46. 被引量：2
3В.И.Маиорнв,А.Д.Молоgык,王先承.氯化氢中微量有机和无机杂质的色谱分析[J].低温与特气,1983,1(3):57-59. 被引量：3
4张凤林.电子级高纯氯化氢的研制[J].低温与特气,1990,8(2):32-38. 被引量：7
5徐予晗.多晶硅行业钢制氯化氢合成炉的腐蚀控制[J].广州化工,2009,37(2):43-44. 被引量：3
6方华,陈鹰,庄鸿涛,杨康,黄小强,李建浩.氦离子化色谱仪在电子气体(硅烷)分析中的应用[J].低温与特气,2009,27(5):39-42. 被引量：9
7方华,周朋云,庄鸿涛.氦离子化检测器(PDHID)与火焰离子化检测器(FID)在高纯气体分析中的性能比较(续)[J].低温与特气,2011,29(2):44-48. 被引量：15
8张达盼,张丽娟,张智勇,孟营,王玉玲.盐酸阿比朵尔中间体的合成工艺研究[J].精细化工中间体,2011,41(2):45-47. 被引量：6
9周祥顺,王钟辉,胡小冬,王岭,黎展荣.多晶硅生产氯化氢回收工艺的模拟与优化[J].现代化工,2012,32(4):104-106. 被引量：4
10陶厚春.合成炉氯化氢用于氯甲基化生产试验[J].氯碱工业,1991(2):33-34. 被引量：2

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1刘胜,庄鸿涛,郁光,杨康,李绪娜,方华,张吉瑞.氯化氢色谱分析[J].低温与特气,2013,31(2):38-40. 被引量：3
2刘胜,庄鸿涛,郁光,杨康,李绪娜,方华,张吉瑞.氯化氢中杂质的色谱分析[J].深冷技术,2020(3):53-57.

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1刘海生,崔嘉敏.炼厂常压塔顶气中氯化氢的检测[J].甘肃科技,2014,30(8):15-17.
2郁光,庄鸿涛,方华.氦离子色谱仪在气体分析领域的应用[J].工业技术创新,2014,1(2):226-235. 被引量：12
3于晓艳,左世芳,卢菊花,陶明,杨红燕,赵建为,张云辉.气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的气相色谱分析[J].低温与特气,2014,32(5):20-22. 被引量：18

1杨慧中.作业环境中砷,磷烷,砷烷,硼烷等有害物质的采样与检测[J].有色金属分析通讯,1991(4):15-20.
2戴秀清.特种气体的环境保护措施[J].低温与特气,1994,12(4):62-63.
3薛鸿堡.美国制定的有毒特种气体一次排放标准[J].化工环保,1990,10(5):309-311.
4新型高效汽提塔[J].现代化工,2004,24(7):70-70.
5高石哲男,韩美.半导体用氯气或氯化氢的纯化方法[J].低温与特气,1983,1(3):27-28.
6Ё.Н.Лебедев,Ё.П.Белов,李文富,李光文,李怀曙.甲硅烷的纯化方法[J].低温与特气,1985,3(4):18-19.
7孙福楠,吴江红,冯庆祥.电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料[J].低温与特气,2008,26(4):1-5. 被引量：2
8施倚.电磁辐射对人体的主要危害有哪些[J].劳动保护,2016,0(6):99-99. 被引量：2
9江霞.半导体研究与生产中砷烷和磷烷气体的环境浓度监测及泄漏报警[J].上海微电子技术和应用,1997(2):20-23.
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低温与特气

1988年第1期

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