CVD和PVD超硬涂层的研究进展 被引量：6

1

作者 俞世吉 丁振峰 +1 位作者 刘东平 马腾才 《真空与低温》 1999年第3期157-161,共5页

综述了金刚石、类金刚石碳、立方氮化硼以及碳－ 氮超硬涂层的一些新的研究进展，并着重对４ 种超硬涂层的制备研究作介绍。

关键词 超硬涂层 cvd pvd 研究进展 涂层

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CVD与PVD硬涂层研究的进展 被引量：11

2

作者 李鹏兴 《上海金属》 CAS 1994年第2期55-62,共8页

论述了用CVD和PVD方法制备硬涂层的若干进展，包括MT-CVD，PACVD，HVS及IBAD等，并介绍了超硬涂层发展的简况。

关键词 气相沉积 涂层 cvd pvd

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基于TiC_(0.5)N_(0.5)/Si_3N_4复相陶瓷基体的PVD及CVD涂层刀具性能 被引量：2

3

作者 古尚贤 郭伟明 +4 位作者 曾俊杰 伍尚华 李安琼 蒋强国 曾琨 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期618-627,共10页

首先,以15vol%或25vol%的TiC0.5N0.5粉体为导电第二相,利用热压烧结法制备了TiC0.5N0.5/Si3N4复相陶瓷;然后,分别通过物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)技术在TiC0.5N0.5/Si3N4陶瓷刀具表面沉积了CrAlN和TiN/Al2O3/TiN涂层;最后,通... 首先,以15vol%或25vol%的TiC0.5N0.5粉体为导电第二相,利用热压烧结法制备了TiC0.5N0.5/Si3N4复相陶瓷;然后,分别通过物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)技术在TiC0.5N0.5/Si3N4陶瓷刀具表面沉积了CrAlN和TiN/Al2O3/TiN涂层;最后,通过对TiC0.5N0.5/Si3N4刀具进行连续切削灰铸铁实验,研究了TiC0.5N0.5含量和涂层类型对刀具磨损特征的影响,并探讨了刀具的磨损机制。结果表明:TiC0.5N0.5含量的增加有利于提高TiC0.5N0.5/Si3N4复相陶瓷刀具基体的硬度和电导率,但对耐磨性和切削寿命的影响较小;采用PVD技术沉积CrAlN涂层时,随着TiC0.5N0.5含量的增加,涂层的厚度、结合强度和硬度都得到提高,涂层刀具的磨损性能显著提高,切削寿命也明显延长;而采用CVD技术沉积TiN/Al2O3/TiN涂层时,TiC0.5N0.5含量的变化对涂层的厚度、结合强度和硬度基本没有影响,TiN/Al2O3/TiN涂层刀具整体切削性能变化不大。CrAlN涂层和TiN/Al2O3/TiN涂层都可明显改善TiC0.5N0.5/Si3N4复相陶瓷刀具的耐磨性和切削寿命;相对于TiN/Al2O3/TiN涂层,CrAlN涂层具有更高的涂层硬度和粘着强度,但TiN/Al2O3/TiN涂层具有较大的涂层厚度,TiN/Al2O3/TiN涂层刀具表现出更加优异的耐磨性和切削寿命。TiC0.5N0.5/Si3N4复相陶瓷刀具的磨损机制以机械摩擦导致的磨粒磨损为主,伴随有少量的粘结磨损。 展开更多

关键词 涂层TiC0.5N0.5/Si3N4刀具 电阻率 pvd cvd 磨损性能

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金属陶瓷及硬质合金表面CVD/PVD涂层的摩擦与切削性能 被引量：6

4

作者 孙磊 熊计 杨天恩 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期45-55,共11页

为研究涂层沉积方式对金属陶瓷和硬质合金性能的影响,采用粉末冶金技术制备了Ti(C,N)基金属陶瓷和YT15硬质合金,在基体表面先后采用CVD和PVD制备涂层。采用SEM、EDS等手段对涂层的微观组织和元素含量进行分析,并对涂层试样进行划痕、摩... 为研究涂层沉积方式对金属陶瓷和硬质合金性能的影响,采用粉末冶金技术制备了Ti(C,N)基金属陶瓷和YT15硬质合金,在基体表面先后采用CVD和PVD制备涂层。采用SEM、EDS等手段对涂层的微观组织和元素含量进行分析,并对涂层试样进行划痕、摩擦因数、切削性能检测。结果表明,通过复合CVD+PVD工艺,CVD涂层和PVD涂层结合良好。不论是金属陶瓷还是硬质合金,CVD涂层的膜基结合力和摩擦因数均为最大,PVD涂层最小,复合CVD+PVD涂层介于两者之间。对于金属陶瓷和硬质合金而言,复合CVD+PVD涂层的切削性能最好,CVD涂层最差,PVD涂层介于两者之间。切削过程中的磨损机理主要是氧化磨损和磨粒磨损。 展开更多

关键词 cvd+pvd涂层 结合力 摩擦因数 切削性能

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铜合金表面DLC涂层摩擦学特性研究

5

作者 纪磊磊 喻岚 +2 位作者 唐华 于爽爽 李多生 《功能材料》 北大核心 2025年第7期7230-7236,共7页

采用磁控增强PVD/CVD复合沉积方法,在铜合金表面沉积Cr/Cr+WC/WC-DLC/DLC多层涂层,通过设计中间梯度层WC-DLC的厚度,期望提高铜合金的力学性能。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱对DLC涂层微结构进行表征,运用纳米压痕... 采用磁控增强PVD/CVD复合沉积方法,在铜合金表面沉积Cr/Cr+WC/WC-DLC/DLC多层涂层,通过设计中间梯度层WC-DLC的厚度,期望提高铜合金的力学性能。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱对DLC涂层微结构进行表征,运用纳米压痕仪、纳米划痕测试仪及往复干式摩擦计对其力学性能进行研究。结果表明,随着中间梯度层厚度的增加,DLC涂层的纳米压痕硬度从12.9 GPa先降低到11.4 GPa后上升到14.6 GPa。铜合金与DLC涂层的结合力达到HF-1级。这种梯度层间设计使得铜锡合金与DLC涂层结合力及硬度显著提高。稳态时摩擦系数为0.089(Si_(3)N_(4))和0.193(GCr15)。相比于铜合金基体,DLC涂层呈现优异的摩擦学性能。 展开更多

关键词 DLC 中间梯度层 摩擦磨损性能 铜合金 pvd/cvd

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单晶高温合金CVD铝化物涂层对热障涂层高温防护性能的影响 被引量：1

6

作者 王立哲 蔡妍 +2 位作者 张儒静 何利民 牟仁德 《真空》 CAS 2022年第4期56-63,共8页

在镍基单晶高温合金DD5上依次采用化学气相沉积(CVD)法沉积铝化物涂层,使用真空电弧离子镀(ARC)原位沉积NiCoCrAlYHf(HY5)金属粘结层,采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)沉积氧化钇稳定的氧化锆(6~8YSZ)。对比了DD5+(HY5+YSZ)及DD5+(Al+HY5... 在镍基单晶高温合金DD5上依次采用化学气相沉积(CVD)法沉积铝化物涂层,使用真空电弧离子镀(ARC)原位沉积NiCoCrAlYHf(HY5)金属粘结层,采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)沉积氧化钇稳定的氧化锆(6~8YSZ)。对比了DD5+(HY5+YSZ)及DD5+(Al+HY5+YSZ)两种涂层试样在1100℃下的静态氧化防护性能。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、电子探针等方法分析了两种涂层在高温氧化过程中显微组织和成分的演变规律。结果表明:DD5+(Al+HY5+YSZ)涂层为多层结构,组织致密,与基体结合良好;250h静态氧化后,两种涂层外观状态整体完好;1100℃/250h静态氧化条件下,DD5合金、DD5+(HY5+YSZ)涂层和DD5+(Al+HY5+YSZ)涂层的氧化速率常数分别为0.415,0.410,0.354 g^(2)·m^(4)·h^(-1);250h静态氧化后,DD5+(HY5+YSZ)和DD5+(Al+HY5+YSZ)涂层中铝元素含量最高分别为5.8wt%和16.7wt%,粘结层上表面铝元素含量分别为3.7wt%和6.0wt%,热生长氧化物(TGO)厚度分别为6.6μm和9.4μm;两种涂层与基体间均发生了元素互扩散,出现了二次反应区(SRZ),DD5+(Al+HY5+YSZ)涂层中二次反应区更为明显、连续。 展开更多

关键词 化学气相沉积 铝化物涂层 热障涂层 电子束物理气相沉积 静态氧化

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现代刀具涂层制备技术的研究现状 被引量：22

7

作者 康勃 马瑞新 +2 位作者 吴中亮 王目孔 林炜 《表面技术》 EI CAS CSCD 2008年第2期71-74,共4页

刀具涂层是一种机床工具行业的重要材料,其性能直接影响数控机床的机械加工精度。概述了刀具涂层材料的特点、要求及涂层制备技术的发展,分析了化学气相沉积法、物理气相沉积法、等离子体增强化学气相沉积法及溶胶-凝胶法等几种涂层制... 刀具涂层是一种机床工具行业的重要材料,其性能直接影响数控机床的机械加工精度。概述了刀具涂层材料的特点、要求及涂层制备技术的发展,分析了化学气相沉积法、物理气相沉积法、等离子体增强化学气相沉积法及溶胶-凝胶法等几种涂层制备方法的优缺点。结合国内外刀具涂层的研究现状及发展趋势,指出在大力发展化学气相沉积涂层和物理气相沉积涂层技术的同时,开发两者相结合的新型工艺,推动国内刀具涂层技术的快速发展。 展开更多

关键词 刀具涂层 化学气相沉积 物理气相沉积 溶胶-凝胶

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无机薄膜的制备技术 被引量：19

8

作者 李晨松 徐廷献 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2003年第2期21-25,56,共6页

综述了各种无机薄膜的基本制备方法 ,并对目前国内外的一些新的薄膜制备方法和应用的最新进展进行了概述 ,分别介绍了物理方法、化学方法及溶胶 凝胶法 (Sol gel)的基本特点及成膜特性 。

关键词 无机薄膜 制备技术 物理方法 化学方法 溶胶-凝胶法 特点 成膜特性

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纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展 被引量：6

9

作者 沈保罗 王均 +3 位作者 张铁邦 高见 冯浩 黄四九 《粉末冶金技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期383-387,共5页

本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、... 本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响。在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4基体上的复合涂层(nc-TiN/a-Si3N4)。该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用。 展开更多

关键词 纳米晶Ti—Si—N超硬复合涂层 制备方法 等离子增强化学气相沉积 等离子辅助化学气相沉积 直流磁控溅射 射频磁控溅射

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涂层梯度硬质合金的研究进展 被引量：9

10

作者 张武装 刘咏 +1 位作者 贺跃辉 黄伯云 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1531-1534,共4页

主要综述了涂层梯度硬质合金的发展,对涂层梯度硬质合金基体的制备、基体涂层技术、基体表层碳含量的控制等进行了阐述。展望了梯度硬质合金的前景和发展方向。

关键词 梯度硬质合金 梯度烧结 涂层 化学气相沉积 物理气相沉积

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硬质合金切削刀具涂层技术的发展 被引量：13

11

作者 张武装 刘咏 黄伯云 《粉末冶金工业》 CAS 北大核心 2006年第5期44-47,共4页

本文主要综述了硬质合金刀具涂层技术的发展,对硬质合金涂层技术的概念、分类和改进措施等进行了阐述。展望了硬质合金涂层材料的前景和发展方向。

关键词 硬质合金 切削刀具 涂层技术 化学气相沉积 物理气相沉积

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热障涂层制备方法的研究 被引量：6

12

作者 王莉莉 王伟 +1 位作者 谭世磊 宋闪光 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2016年第18期15-18,共4页

论述了热障涂层制备方法,如等离子喷涂(PS)、电子束物理气相沉积(EB-PVD)、化学气相沉积(CVD)和电泳沉积(EPD)的方法原理和优缺点。并介绍了影响电泳沉积制备涂层质量和厚度的主要影响因素:悬浮液、外加电压和沉积时间。对比这几种制备... 论述了热障涂层制备方法,如等离子喷涂(PS)、电子束物理气相沉积(EB-PVD)、化学气相沉积(CVD)和电泳沉积(EPD)的方法原理和优缺点。并介绍了影响电泳沉积制备涂层质量和厚度的主要影响因素:悬浮液、外加电压和沉积时间。对比这几种制备方法,发现电化学气相沉积(CVD)和电泳沉积具有更大的发展潜力,尤其是电泳沉积拥有设备便宜、工艺简单,还可对复杂工件表面进行沉积等的优点。 展开更多

关键词 热障涂层 等离子喷涂 电子束物理气相沉积 化学气相沉积 电泳沉积

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RB-SiC材料表面改性技术研究 被引量：2

13

作者 霍艳丽 刘海林 +6 位作者 胡传奇 黄小婷 贾志辉 梁海龙 王春朋 唐婕 陈玉峰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期778-781,共4页

采用反应烧结制备的碳化硅制品通常含有10%~20%的Si,由于Si与Si C两种材料的物理性能存在差异,在镜面的抛光过程中两种材料的去除速率不一致,导致制品出现缺陷,其表面粗糙度通常无法满足空间遥感用反射镜的光学应用要求,为此本研究采用... 采用反应烧结制备的碳化硅制品通常含有10%~20%的Si,由于Si与Si C两种材料的物理性能存在差异,在镜面的抛光过程中两种材料的去除速率不一致,导致制品出现缺陷,其表面粗糙度通常无法满足空间遥感用反射镜的光学应用要求,为此本研究采用化学气相沉积(CVD)及物理气相沉积(PVD)对镜面进行改性,通过SEM分析了2种改性涂层与基体的结合性能,采用分光光度计分析两种改性材料的反射效果,实验表明采用无缺陷的CVDSi C和PVDSi涂层都适宜做Si-Si C反射镜改性涂层,在此基础上对不同温度及不同位置下制备的碳化硅涂层进行分析,对CVD过程的化学动力及气体流场对膜层的影响进行初步分析讨论,为CVD工艺制备大尺寸Si C涂层提供依据。 展开更多

关键词 反射镜 涂层 改性 cvd pvd

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钛及钛合金的表面处理技术新进展 被引量：59

14

作者 何利舰 张小农 《上海金属》 CAS 2005年第3期39-45,共7页

钛及钛合金具有高比强度、优良的耐蚀性、良好的高温性能,在现代航空航天、军事工业、民用工业中占据越来越重要的位置。但是,钛及钛合金自身硬度低、耐磨性能差的缺点限制了它的进一步应用。介绍了几种能改善表面性能的表面处理技术在... 钛及钛合金具有高比强度、优良的耐蚀性、良好的高温性能,在现代航空航天、军事工业、民用工业中占据越来越重要的位置。但是,钛及钛合金自身硬度低、耐磨性能差的缺点限制了它的进一步应用。介绍了几种能改善表面性能的表面处理技术在钛及钛合金上的应用以及这些处理技术的特点和最新进展。包括:激光熔覆表面处理、CVD、PVD、热扩散法和表面纳米化,以及多组元和多层涂层技术。 展开更多

关键词 表面处理技术 钛合金 表面纳米化 高比强度 高温性能 航空航天 军事工业 民用工业 耐磨性能 表面性能 激光熔覆 热扩散法 涂层技术 耐蚀性 cvd pvd 多组元 应用

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硬质薄膜技术的最新发展 被引量：12

15

作者 杨林生 王君 陈长琦 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期35-39,共5页

为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用。本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商。首先对CVD及其相关技术的发展情况进行了简介,再对PVD技术在硬质薄膜领域的应用进行了详述,最... 为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用。本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和代表厂商。首先对CVD及其相关技术的发展情况进行了简介,再对PVD技术在硬质薄膜领域的应用进行了详述,最后对国内相关产业的发展进行了介绍和总结,同时本文对硬质薄膜技术在我国未来的发展提出了展望。 展开更多

关键词 硬质薄膜 化学气相沉积 物理气相沉积 阴极电弧 磁控溅射

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几种低压气相沉积技术制备立方氮化硼膜的新进展 被引量：2

16

作者 邱东江 郝天亮 石成儒 《表面技术》 EI CAS CSCD 2000年第1期1-5,共5页

介绍了 ｃ－ＢＮ的优异特性及应用前景。评述了 ｃ－ＢＮ膜的几种低压物 理气相沉积（ＰＶＤ）和低压化学气相沉积（ＣＶＤ）制备方法，分析其成膜特点及对ｃ－ ＢＮ形成有显著影响的工艺参数。介绍了当前ｃ－ＢＮ膜研究取得的成果，对... 介绍了 ｃ－ＢＮ的优异特性及应用前景。评述了 ｃ－ＢＮ膜的几种低压物 理气相沉积（ＰＶＤ）和低压化学气相沉积（ＣＶＤ）制备方法，分析其成膜特点及对ｃ－ ＢＮ形成有显著影响的工艺参数。介绍了当前ｃ－ＢＮ膜研究取得的成果，对如何提 高成膜质量提出了自己的一些看法。 展开更多

关键词 pvd cvd 氮化硼薄膜 低压气相沉积 薄膜 镀膜

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刀具硬质涂层的发展现状及展望 被引量：4

17

作者 胡鹏飞 张华 《工具技术》 2009年第11期29-33,共5页

综述了刀具用硬质涂层材料的制备方法和种类,并对硬质涂层的应用前景及发展趋势进行了展望。

关键词 刀具 硬质涂层 pvd cvd

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管状构件内表面真空镀膜方法研究进展 被引量：7

18

作者 赵彦辉 贾莹 +1 位作者 于宝海 肖金泉 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期118-125,149,共9页

综述了国内外真空镀膜方法,包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对管状构件内表面镀膜的研究进展,介绍了热化学气相沉积及各种等离子体(包括直流、射频及电子自旋共振等离子体)增强化学气相沉积方法在管状构件内表面镀膜方面的应用,分... 综述了国内外真空镀膜方法,包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对管状构件内表面镀膜的研究进展,介绍了热化学气相沉积及各种等离子体(包括直流、射频及电子自旋共振等离子体)增强化学气相沉积方法在管状构件内表面镀膜方面的应用,分析了这种方法的优缺点;重点阐述了溅射镀膜方法 (包括直流二极(或三极)溅射、磁控溅射及离子束(或激光束)溅射)及电弧离子镀技术在管状构件内表面镀膜时对薄膜种类、沉积速率、薄膜厚度轴向均匀性、膜/基结合力等方面的特点。最后对管状构件内表面各种真空镀膜方法进行了分析对比,指出了存在的问题及今后的发展方向。 展开更多

关键词 管状构件 内表面 物理气相沉积 化学气相沉积

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氮氧化硅薄膜制备方法的研究 被引量：5

19

作者 孟祥森 袁骏 +2 位作者 马青松 葛曼珍 杨辉 《材料科学与工程》 CSCD 1999年第4期10-13,共4页

氮氧化硅薄膜综合了ＳｉＯ２膜和Ｓｉ３Ｎ４膜的优点，具有优秀的光电性能，力学性能和稳定性能，已经在光电领域获得了广泛地应用，此外在材料改性方面也有广阔的应用前景。本文综合评述了几种氮氧化硅薄膜的制备方法，比较了各自的优... 氮氧化硅薄膜综合了ＳｉＯ２膜和Ｓｉ３Ｎ４膜的优点，具有优秀的光电性能，力学性能和稳定性能，已经在光电领域获得了广泛地应用，此外在材料改性方面也有广阔的应用前景。本文综合评述了几种氮氧化硅薄膜的制备方法，比较了各自的优缺点，并指出了今后制备方法的发展趋势。 展开更多

关键词 氮氧化硅 薄膜制备 高温氮化 气相沉积法

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国内外切削刀具涂层技术发展综述 被引量：53

20

作者 赵海波 《工具技术》 北大核心 2002年第2期3-7,共5页

对国内外切削刀具涂层技术的现状及发展趋势进行了综合评述 ,从工艺、装备、技术开发、推广应用、售后服务等方面分析了我国刀具PVD涂层技术发展存在的问题 ,提出我国工具行业应针对国内刀具涂层技术现状 ,建立统一的研究、开发、服务体... 对国内外切削刀具涂层技术的现状及发展趋势进行了综合评述 ,从工艺、装备、技术开发、推广应用、售后服务等方面分析了我国刀具PVD涂层技术发展存在的问题 ,提出我国工具行业应针对国内刀具涂层技术现状 ,建立统一的研究、开发、服务体系 ,系统引进国外先进技术 ,通过消化吸收逐步增强自我开发能力 ,形成专利技术 。 展开更多

关键词 切削刀具 涂层技术 化学气相沉积 物理气相沉积 发展趋势 涂层刀具 机械加工

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