摘要
设计并研制成功128×128元 PtSi 肖特基势垒红外 CCD(PtSi-SBIRCCD)焦平面列阵。介绍了该器件的工作原理。阐述了器件结构和设计思想,并就器件的性能参数进行了研究。
128×128 elememt PtSi Schottky-barrier infrared CCD (PtSi-SB IRC- CD)focal plane arrays are succesfully designed and fabricated.In this paper,the op- eration principle of the device is presented,followed by the description of the struc- ture and design considerations.Study is given on the performance parameters.
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1993年第2期127-133,共7页
Semiconductor Optoelectronics
基金
国家"863"基金项目
关键词
焦平面列阵
光腔
埋沟
肖特基势垒
Infrared Focal Plane Arrays
Optical Cavity
Buried Channel CCD
PtSi
