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微电子技术用于硅基底导波光学互连被引量：3

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摘要本文论述了微电子技术在硅基底导波光学互连中的应用。并对技术上存在着的问题进行了讨论,侧重点是关于集成单片光发射器和接收电路与光互连器件工艺兼容问题,并指出了将来的发展方向。

作者祖继锋姜铃珍洪晶陈学良

机构地区哈尔滨工业大学应用物理系上海冶金所微电子分部

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1992年第4期10-16,共7页 Semiconductor Technology

关键词微电子硅基底光学互连电路

分类号 TN430.597 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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半导体技术

1992年第4期

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