VO_2薄膜的研究和应用进展被引量：9

VO_2 Thin Film: Developments in Research and Application

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摘要综述了VO_2薄膜的制备工艺,着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响,并介绍了它的最新应用情况。 Several advances in VO2 thin film preparation are discussed, with focus on heat treatment conditions. Some latest applications are reviewed.

作者张弛刘梅冬曾亦可刘少波黄焱球

机构地区华中科技大学电子科学与技术系

出处《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第F09期214-217,共4页 Materials Reports

基金国家自然科学基金 (重大研究计划)资助项目(90201028)

关键词 VO2薄膜制备工艺光电转换性能热敏性能气相沉积敏感材料 VO_2 thin film, preparation progress, heat treatment ,uncooled infrared focal plane arrays,light gate,laser reflector

分类号 TB381 [一般工业技术—材料科学与工程] O614.511 [理学—无机化学]

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