新型红外增透膜和保护膜被引量：4

Advanced Anti-reflection and Protection Films for IR Materials

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摘要介绍了类金刚石碳（ＤＬＣ）膜和碳化锗（Ｇｅ＿ｘＣ＿（１－ｘ））簿膜的沉积方法、特性和在红外光学镀膜中的应用进展。 he prepared processes,properties,IR applications and development of diamondlike carbon ( DLC )and germanium carbide films have been reviewed.

作者刘正堂张贵锋许念坎郑修麟

机构地区西北工业大学

出处《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期6-8,共3页 Journal of Materials Engineering

关键词红外增透薄膜保护薄膜类金刚石碳膜 infra-red anti-reflection films,protective films

分类号 TN213 [电子电信—物理电子学]

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