摘要
利用激光干涉条纹的位相,提出了一种简便、快速且精度很高的微小位移的测量方法。实验表明,计算程序是可行,测量精度可达1/360的条纹间隔,可实现光学亚微米和纳米尺度的测量。
Used the phase of laser interference fringes, a simple, fast and accurate micro displacement measuring method is proposed. The experiment indicates that the program is available. The measure accuracy can achieve one-three hundred and sixty fringes interval. This method can realize optical measure in the scale of submicron and millimicron.
出处
《南昌大学学报（理科版）》
CAS
北大核心
2003年第3期299-301,共3页
Journal of Nanchang University(Natural Science)
基金
江苏省光电技术重点实验室开放基金资助项目(KJS01040)
南昌大学校基金资助项目(2135)
