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ZnO薄膜的最新研究进展 被引量:22

Advance in research on ZnO thin films
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摘要 ZnO是一种新型的Ⅱ~Ⅵ族半导体材料。文章详细介绍了ZnO薄膜在其晶格特性、光学、电学和压电性能等方面的研究 ,特别是ZnO薄膜的紫外受激辐射特性 ,另外 ,对ZnO的p型掺杂和 p n结特性的最新进展也作了探讨。 ZnO is a novel material for Ⅱ~Ⅵ semiconductor.In this work, the micro structural, optical, electrical and piezoelectical properties of zinc oxide thin films, especially the property of ultraviolet stimulated emission, were studied in detail. The characteristics of the p type ZnO and p n junctions were also discussed.
出处 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期581-583,587,共4页 Journal of Functional Materials
基金 国家重大基础研究项目基金资助项目 (G2 0 0 0 0 683 0 6)
关键词 ZNO薄膜 研究进展 晶格特性 光电性能 P型掺杂 zinc oxide thin films microstructure optical and electrical property p type ZnO
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献7

  • 1李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏.硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J].Journal of Semiconductors,1996,17(11):877-880. 被引量:15
  • 2Bagnall D M,Appl Phys Lett,1997年,70卷,17期,2230页
  • 3Hu J,J Appl Phys,1992年,71卷,880页
  • 4Jin B J,Mater Sci Eng.B,2000年,71卷,301页
  • 5Guo Changxin,Chin Phys Lett,1999年,16卷,146页
  • 6Li Jianguang,真空科学与技术学报,1999年,19卷,5期,349页
  • 7李剑光,半导体学报,1996年,17卷,11期,887—880页

共引文献82

同被引文献206

引证文献22

二级引证文献41

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