摘要
采用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上成功地沉积了C轴取向性能良好的ZnO薄膜。本文研究了C轴取向性良好的ZnO薄膜在光学方面的一些性质以及ZnO薄膜的塞贝克效应,并从理论上进行了分析。
Zinc oxide thin films which are well C-axis-orientated have successfully been deposited on glass substrates using DC reactive magnetron sputtering. The optical properties of ZnO thin films are studied, with Seebeck effect of ZnO thin films (investigated) and analyzed theorically.
出处
《真空》
CAS
北大核心
2005年第3期20-22,共3页
Vacuum
关键词
ZNO薄膜
光学性质
塞贝克效应
zinc oxide film
optical properties
Seebeck effect