微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜

Diamond Films Grown on the Quartz Glass by MWCVD

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摘要用X射线衍射、Raman谱和光电子能谱对石英玻璃上的金刚石薄膜进行分析。 The diamond films grown on the quartz glass were analyzed by XRD, Raman and XPS. The difficulties to grow diamond films on the quartz glass were also explained in the present paper.

作者朱建勇李力柴欣董学斌

机构地区武汉理工大学复合材料复合新技术国家重点实验室

出处《玻璃与搪瓷》 CAS 北大核心 2002年第5期20-22,共3页 Glass & Enamel

关键词化学气相沉积法 X射线拉曼光谱光电子能谱微波等离子CVD法石英玻璃金刚石薄膜 CVD Diamond films XRD Raman XPS

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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