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LIGA技术制作微反应器的研究 被引量:10

Study on Fabrication of Microreactor by LIGA Technique
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摘要 介绍了微反应器的基本原理 ,根据化学反应传质和传热的需求 ,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计 ,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器。 The principle of microreactor is presented.The structure and size of microchannels are designed and given according to the requirements of mass and heat transfer in chemical reaction.A kind of microreactor for catalytic reaction has been developed by LIGA technique.
出处 《微细加工技术》 2002年第2期68-71,共4页 Microfabrication Technology
关键词 LIGA技术 微反应器 微管道 微电子机械系统 s:microreactor microchannels LIGA technique
  • 相关文献

参考文献6

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同被引文献119

引证文献10

二级引证文献92

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