磁性LIGA微致动器

下载PDF

导出

摘要在许多微系统工程的研究工作中,预测微致动器有着巨大的应用潜力。因为在不断增多的微型化中有了适当的标度,又因为有可能在一块基板上相当简单地并行加工,所以,静电驱动原理得到多方的重视。与之不同磁性致动器的制造要求三维结构:一个碱性材料制作的铁磁心,它被线圈所环绕。随着微技术加工方法的进步,这一问题最近得到解决。

作者大舟

出处《光机电信息》 1997年第2期21-23,共3页 OME Information

关键词机器人致动器微致动器磁性材料

分类号 TP242.03 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

引文网络
相关文献

1大舟.微型结构与实际应用之间的接口[J].光机电世界,1994,11(2):12-14.
2杨拥军.划时代的MEMS加工技术[J].国防制造技术,2009(5):36-38. 被引量：6
3刘刚,田扬超,洪义麟,阚娅,张鹏,田学红,伊福廷.LIGA技术制造微流量计的研究[J].微细加工技术,2000(4):73-76. 被引量：2
4伊福廷,唐鄂生,张菊芳,晋明,洗鼎昌.利用LIGA技术制造夹钳[J].微细加工技术,1999(3):54-57.
5刘刚,田扬超,张新夷.LIGA技术制作微反应器的研究[J].微细加工技术,2002(2):68-71. 被引量：10
6洪永强,蒋红霞.微电子机械系统及硅微机械加工工艺[J].电子工艺技术,2003,24(5):185-188. 被引量：10
7黄良甫,贾付云.微机电系统的加工技术及其研究进展[J].真空与低温,2003,9(1):1-5. 被引量：6
8郑利兵,石庚辰,韩立.基于LIGA工艺的电铸镍材料特性[J].功能材料与器件学报,2010,16(3):222-226. 被引量：9
9王翔,赵钢,郭锐,李国锋,黄文浩.微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析[J].中国机械工程,2006,17(10):1051-1055. 被引量：6
10陈佳品,李振波,唐晓宁.毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究[J].中国机械工程,2005,16(14):1223-1225. 被引量：5

光机电信息

1997年第2期

浏览历史

内容加载中请稍等...

磁性LIGA微致动器

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史