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微型机械设计基础研究 被引量:62

STUDY ON THE FUNDAMENTAL DESIGN ISSUES OF MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
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摘要 针对微型机电系统发展过程中存在的问题 ,论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性 ,并且总结出微型机械研究中关于微机械设计基础研究的范畴和特点 。 Based on the existing problems in the development of MEMS,the needs of study on the fundamental design issues are discussed The requirements and characteristics of subject branches in the fundamental design of MEMS are summarized The research directions that must be addressed at the present are proposed as well
出处 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期39-42,共4页 Journal of Mechanical Engineering
关键词 微型机械 微机构学 微材料力学 微摩擦学 Micromachine Micromechanisms Micro mechanics of materials Microtribology
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