摘要
本文对纳米机械学的发展历程、定义、特点、研究内容和方向进行了简介。
The development course, definition, feature, research, content and direction of nanomechanics were introduced.
出处
《航空精密制造技术》
2009年第1期5-8,共4页
Aviation Precision Manufacturing Technology
关键词
微机电系统
纳米机械学
微机械
microelectromechanical system
nanomechanics
micro machine
