SOI技术日趋成熟
出处
《世界电子元器件》
2000年第2期51-53,共3页
Global Electronics China
-
1晶.可在单芯片中混装数字电路和模拟电路的SOI技术[J].微电子技术,2002,30(4):14-14.
-
2陈军宁,童勤义.超薄膜SOI技术与亚微米VLSI[J].半导体技术,1991,7(6):5-9.
-
3罗南林,吴福根.SOI技术及其最新进展[J].广东工业大学学报,1999,16(3):89-94.
-
4B-Y.Tsaur,石广元.VLSI的SOI技术评价[J].微电子学与计算机,1990,7(3):47-48.
-
5章和.SOI技术应用前景广阔[J].世界电子元器件,1997(3):59-59.
-
6蔡永才.发展中的绝缘体上硅材料技术[J].微电子学,1989,19(5):1-7. 被引量：1
-
7李琼,徐静芳,林成鲁.中子辐照半绝缘硅衬底上的SOI技术[J].华东师范大学学报（自然科学版）,1991(1):35-40.
-
8杨晓军,马腾阁,张继盛,钱佩信.抗反射条定域再结晶方法在SOI技术中的应用[J].Journal of Semiconductors,1990,11(2):111-117. 被引量：2
-
9夏立生.抓住机遇发展SOI技术[J].微电子学,1993,23(2):8-14. 被引量：1
-
10严光文,张其善.基于SIMOX的低功耗智能卡芯片技术[J].微细加工技术,2002(3):65-69.
;
