SOI技术及其最新进展

SOI Technology and the Latest Develop ment in It

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摘要介绍了近年来实现三维集成电路中的关键技术——— ＳＯＩ技术的各类方法，重点讨论了各种ＳＯＩ技术的最新进展． This paperintroducesthe different kinds of S O Itechnology w hich isthe crux to achieve 3- D I Crecently ,and the latest develop ment in S O I.

作者罗南林吴福根

机构地区广东农工商管理学院计算机系广东工业大学数理系

出处《广东工业大学学报》 CAS 1999年第3期89-94,共6页 Journal of Guangdong University of Technology

关键词单晶硅 SOI技术集成电路三维离子注入 S O I technology crystal silicon

分类号 TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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