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金刚石在C_60薄膜表面的成核研究

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摘要 用扫描电子显微术(SEM)研究了微波等离子体CVD生长金刚石系统,金刚石在以C_(60)蒸发膜为抛光Si衬底中间层上的成核行为,实验证实金刚石成核于C_(60)蒸发膜表面,同时观察到成核分布的不均匀性即成核聚集现象,并对此进行了初步分析。金刚石在C_(60)薄膜表面的成核表现出取向生长的特征。
出处 《中国科学(A辑)》 CSCD 1997年第2期162-165,共4页 Science in China(Series A)
基金 国家教委优秀年轻教师基金 湖南省自然科学基金资助项目
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