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双离子束溅射淀积DLC膜的导电行为 被引量:1

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出处 《薄膜科学与技术》 1990年第2期45-51,共7页
  • 相关文献

同被引文献2

  • 1Zhou J W,J Vac Sci Technol A,1988年,6卷,6期,3103页
  • 2Tsai H C,J Vac Sci Technol A,1987年,5卷,3287页

引证文献1

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