簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计 被引量：4

1

作者 刘理天 谭智敏 +3 位作者 刘鸣 温明生 李英慧 姚茂宏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第8期1-4,共4页

为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能，用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在４０ｇ值加速度作用下产生的应力分布，使我们优选了最佳的质量块设计方案，显著地提高了灵敏度，取得了与理论计算符合得很好的实... 为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能，用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在４０ｇ值加速度作用下产生的应力分布，使我们优选了最佳的质量块设计方案，显著地提高了灵敏度，取得了与理论计算符合得很好的实验结果。 展开更多

关键词 有限元 应力分布 优化设计 加速度传感器 传感器

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光纤加速度传感器研究进展 被引量：9

2

作者 王惠文 娄英明 江先进 《光学技术》 CAS CSCD 1997年第5期15-20,共6页

光纤加速度传感器与传统加速度传感器相比，不但能抗电磁干扰，而且体小、质轻、动态范围宽、精度高、能在恶劣环境下工作，因此受到各先进国家军事与商业领域的极大重视，各种实用的光纤加速度传感器不断涌现。主要有光强调制型和相位... 光纤加速度传感器与传统加速度传感器相比，不但能抗电磁干扰，而且体小、质轻、动态范围宽、精度高、能在恶劣环境下工作，因此受到各先进国家军事与商业领域的极大重视，各种实用的光纤加速度传感器不断涌现。主要有光强调制型和相位调制型两大类。光强调制式有反射式、透射式和偏振式等等。相位调制式有Ｍａｃｈ－Ｚｅｎｄｅｒ干涉仪、Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪和Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ干涉仪。有一维的，也有二维的；有与水听器组合在一起的，也有与光纤陀螺仪组合的光纤加速度传感器。最小的已经做到２．５ｃｍ长，直径仅０．２５ｍｍ；测量精度已能达到１μｇ；共振频率可达到１０ｋＨｚ。为了克服温度不稳定性对测量精度的影响，人们采用了３×３耦合器解调法，双光路法，由单臂式改成推挽式等。一旦关键技术得以克服，光纤加速度传感器将会在惯性导航和其它领域发挥更重要的作用。本文将分别介绍目前各种类型光纤加速度传感器的结构、特点、走向实用化存在的问题。 展开更多

关键词 光纤传感器 加速度计 相位调制 光强调制

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加速度传感器电激励等价性测试方法的研究 被引量：4

3

作者 王平 赵新民 +1 位作者 段尚枢 郭振芹 《计量学报》 CSCD 1994年第3期188-192,共5页

研究了采用电信号激励代替机械激励测试伺服加速度传感器动态特性的方法。理论上分析了电激励测试与机械激励测试结果的等价性及原理性误差。针对恒压源型的加速度计提出了一种新的等价性测试方法。实验结果进一步证实了理论分析及实验... 研究了采用电信号激励代替机械激励测试伺服加速度传感器动态特性的方法。理论上分析了电激励测试与机械激励测试结果的等价性及原理性误差。针对恒压源型的加速度计提出了一种新的等价性测试方法。实验结果进一步证实了理论分析及实验方法的正确性。 展开更多

关键词 加速度 传感器 电激励 动态测试

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线加速度计的现状和发展动向 被引量：6

4

作者 吕志清 侯正君 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第5期313-321,共9页

线加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。当前，传统的力再平衡摆式加速度计占据加速度计的主要市场。对加速度计输出数字化的迫切要求，推动了石英振梁式加速度计的发展。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，微硅加速度... 线加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。当前，传统的力再平衡摆式加速度计占据加速度计的主要市场。对加速度计输出数字化的迫切要求，推动了石英振梁式加速度计的发展。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，微硅加速度计已崭露头角并受到广泛的关注。 展开更多

关键词 线加速度计 石英振梁 微机械

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一种弹性盘光纤加速度传感器的探讨 被引量：2

5

作者 娄英明 王惠文 江毅 《光学技术》 EI CAS CSCD 1998年第4期64-66,共3页

本文介绍了一种采用Ｍａｃｈ－Ｚｅｎｄｅｒ干涉仪结构的中心固支弹性盘光纤加速度传感器。该传感器利用弹性盘的变形引起光纤长度的变化，进而引起位相的变化，通过干涉仪感测出。文中分析了两种结构，并加以实现与对比。

关键词 干涉仪 弹性盘 光纤传感器 加速度

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3140型压阻式微硅加速度计测试与分析 被引量：1

6

作者 毛刚 顾启泰 刘学斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第5期3-5,12,共4页

微型加速度计作为一种新型惯性传感器 ,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。 314 0型压阻式微硅加速度计是美国ICSensors公司的产品。文中介绍了它的结构设计和工作原理 ,并对其重要性能... 微型加速度计作为一种新型惯性传感器 ,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。 314 0型压阻式微硅加速度计是美国ICSensors公司的产品。文中介绍了它的结构设计和工作原理 ,并对其重要性能参数进行了测试和分析。 展开更多

关键词 微硅加速度计 测试 分析 惯性传感器

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数字线加速度传感器的研究 被引量：1

7

作者 苏中 李擎 张福学 《电子测量与仪器学报》 CSCD 1998年第1期38-41,共4页

本文采用一种自行设计的压电谐振器进行数字线加速度传感器的研究，论述了该传感器的机理、结构及性能特点，对这种传感器进行了制作和实验。结果表明该数字线加速度传感器具有良好的线性和稳定性，测量范围±50g，非线性1％，灵敏... 本文采用一种自行设计的压电谐振器进行数字线加速度传感器的研究，论述了该传感器的机理、结构及性能特点，对这种传感器进行了制作和实验。结果表明该数字线加速度传感器具有良好的线性和稳定性，测量范围±50g，非线性1％，灵敏度0．0116g。且结构简单、成本低。 展开更多

关键词 加速度计 传感器 线加速度 数字式

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气流式加速度传感器性能的研究

8

作者 吴建义 任宏超 张福学 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第10期10-12,15,共4页

本文根据研制气流式加速度传感器所遇到的实际问题，用理论和实验的方法对其进行了分析和研究。并研究了工艺结构、供电电源电压和环境温度等因素对气流式加速度传感器性能的影响。分析了使气流式加速度传感器的性能指标得到了提高的因素。

关键词 气流式 加速度传感器 工艺结构 传感器

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影响气流式加速度传感器性能的因素

9

作者 吴建义 任宏超 张福学 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1998年第5期13-14,18,共3页

影响气流式传感器性能的因素有工艺结构设计、检测电路的设计等，作者用理论和实验的方法对其进行了分析和研究，结果证明选择合理的工艺结构、适当的电源电压，可提高气流式加速度传感器的性能。

关键词 气流式 加速度传感器 工艺结构 热线 敏感器件

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扭摆式微加速度传感器的优化设计

10

作者 罗晓章 周百令 张燕娥 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第3期1-2,共2页

】扭摆式微加速度传感器是一种用于测量运动物体加速度的微型传感器，在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。文章论述了其结构组成，分析了其工作机理，给出了其设计原则和加工工艺，最后通过实例验... 】扭摆式微加速度传感器是一种用于测量运动物体加速度的微型传感器，在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。文章论述了其结构组成，分析了其工作机理，给出了其设计原则和加工工艺，最后通过实例验证了该设计方法的适用性。 展开更多

关键词 微加速度传感器 优化设计 设计原则

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压阻式加速度传感器的补偿技术的研究 被引量：7

11

作者 朱目成 《仪表技术》 2000年第4期42-43,49,共3页

对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差、温度漂移和动态特性等进行了分析研究 ,给出了它们的补偿原理及其实现方法。

关键词 压阻式加速度传感器 零点误差

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一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究

12

作者 朱目成 《仪表技术》 2001年第1期50-51,53,共3页

介绍一种高灵敏度硅压阻式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ;通过分析和实践 ,得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。

关键词 传感器 加速度计 测试 灵敏度 硅压阻式 研究

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一种新型的角加速度传感器 被引量：14

13

作者 周蜜 吴向荣 洪峰 《航天控制》 CSCD 北大核心 1999年第2期51-54,共4页

对一种新型角加速度传感器的工作原理和一些关键技术进行了阐述和分析。

关键词 角加速度计 传感器 工作原理 关键技术

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微机械加速度开关动态特性分析

14

作者 王洋 商顺昌 任思聪 《传感技术学报》 CAS CSCD 1998年第4期46-50,共5页

本文通过建立微机械加速度开关检测质量运动微分方程,利用数值分析方法对开关动态特性进行了分析,从而为微机械加速度开关的动态设计提供了理论依据.

关键词 微机械 加速度开关 微分方程 微机械加工

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电容式微加速度传感器的现状及研究方向 被引量：7

15

作者 尤晖 李川奇 +1 位作者 沈连官 周华 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第10期57-62,共6页

综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理、结构和特点，并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨。

关键词 传感器 加速度传感器 微电子机械系统 电容式

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压电加速度计的原理、结构及其使用 被引量：16

16

作者 董高庆 《测试技术学报》 1997年第4期52-62,共11页

本文以美国 PCB 公司的压电加速度计为实例,主要介绍了加速度计的工作原理、结构、用途、安装使用时所考虑的问题,以及驱动电缆的选择与测试。

关键词 加速度计 压电式 结构

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高α值加速度传感器标定方法的理论探讨与分析 被引量：7

17

作者 盛党红 《无损检测》 1999年第12期544-545,548,共3页

从理论上探讨了标定高α值加速度传感器的方法,用一端受轴向冲击的等截面均匀细杆产生的应力波作为标定加速度传感器的冲击脉冲,由理论推导出自由杆的一端加速度和杆上的应变关系。在杆的这一端安装加速度传感器,就可对传感器进行标定。

关键词 加速度传感器 应力波 标定 传感器

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新型加速度计集成芯片的原理及其应用 被引量：1

18

作者 耿苏燕 胡宴如 《电子技术应用》 北大核心 1999年第9期60-62,65,共4页

论述了新型加速度计集成芯片ADXL150／ADXL250的测量原理及内部电路结构，对其主要性能指标进行了介绍和分析。研究了这种集传感器和信号调理电路于一体的新型微机械元件的若干使用问题，对振动检测等典型应用的接口电路进行了介绍。

关键词 集成芯片 调理电路 微机械 加速度计

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标定高g值加速度传感器的方法 被引量：2

19

作者 盛党红 《实用测试技术》 1999年第6期33-35,共3页

本文探讨了标定高ｇ 值加速度传感器的新方法，用一端受轴向冲击的等截面均匀细杆产生的应力波作为标定加速度传感器的冲击脉冲，给出了自由杆的一端加速度和杆上的应变关系为ａ ＝ － ２Ｃ０ｄεｄｔ（ε为杆上的应变，Ｃ０ 为应力波... 本文探讨了标定高ｇ 值加速度传感器的新方法，用一端受轴向冲击的等截面均匀细杆产生的应力波作为标定加速度传感器的冲击脉冲，给出了自由杆的一端加速度和杆上的应变关系为ａ ＝ － ２Ｃ０ｄεｄｔ（ε为杆上的应变，Ｃ０ 为应力波传播速度） 展开更多

关键词 加速度传感器 应力波 传感器 标定

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弯曲型ICP加速度计 被引量：1

20

作者 胡子俭 刘长凤 《上海计量测试》 1995年第1期24-25,共2页

本文就ICP(Integrated CircuitPiezoelectric)加速度计作一简介,并且对弯曲型的结构进行浅析。作者认为ICP加速度计是今后采用天然或人造晶体作为敏感元件的加速度计的发展方向。本文为该项研究的简要报告。

关键词 加速度计 弯曲型 结构

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