摘要
综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理、结构和特点，并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨。
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第10期57-62,共6页
China Mechanical Engineering
基金
国家自然科学基金
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