摘要
影响气流式传感器性能的因素有工艺结构设计、检测电路的设计等，作者用理论和实验的方法对其进行了分析和研究，结果证明选择合理的工艺结构、适当的电源电压，可提高气流式加速度传感器的性能。
The factors that influence the performance of the flow acceleration sensor are structure design, test circuit design, etc The results of theoretical analysis and experiment show that better performance can be obtained by choosing reasonable structure and appropriate power supply voltage (4 refs )
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
1998年第5期13-14,18,共3页
Electronic Components And Materials
基金
国家自然科学基金
