弯曲型ICP加速度计被引量：1

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摘要本文就ICP(Integrated CircuitPiezoelectric)加速度计作一简介,并且对弯曲型的结构进行浅析。作者认为ICP加速度计是今后采用天然或人造晶体作为敏感元件的加速度计的发展方向。本文为该项研究的简要报告。

作者胡子俭刘长凤

机构地区上海航空测控技术研究所上海计量技术研究所

出处《上海计量测试》 1995年第1期24-25,共2页 Shanghai Measurement and Testing

关键词加速度计弯曲型结构

同被引文献11

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上海计量测试

1995年第1期

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