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光电流瞬态谱中半绝缘砷化镓的EL2峰的研究 被引量:2

Study of EL2 Peak in LEC SI-GaAs by PICTS
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摘要 本文用加栅的光电流瞬态谱(PICTS)方法研究了半绝缘砷化镓材料中的深能级缺陷,发现加栅后可使PICTS对EL2等靠近禁带中央的缺陷变得灵敏,并分析了其中原因,认为材料中费米能级位置对PICTS结果有影响。 Gated-photo induced transient spectroscopy (PICTS) has been used to study the deeplevel defects in SI-GaAs material. In many cases, it is found that the gated PICTS can bemore sensitive to those mid-gap defects (such as EL2) than the traditional PICTS. And weattribute this effect to the Fermi level shift near the surface after the metal deposition.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第11期659-663,共5页 半导体学报(英文版)
基金 国家自然科学基金
  • 相关文献

参考文献1

  • 1龚大卫,半导体学报,1992年,13卷,1页

同被引文献7

引证文献2

二级引证文献4

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