摘要
半导体器件生产中,有些工艺参数为非正态分布,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.因此提出了一种非正态分布工艺参数计算方法,并开发了相应的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和工艺不合格品率.
Using the traditional method to calculate the process capability index C_(pk) of the non-normal distribution parameters appearing in semiconductor device production will result in wrong conclusion. A new method is suggested and a software program is developed for calculating the C_(pk) and yield of non-normal distribution parameters at the PPM level.
出处
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期13-15,46,共4页
Journal of Xidian University
基金
重点实验室基金资助项目(514330501)
