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提高露点法测定高纯气体中痕量水灵敏度的初探被引量：2

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摘要从理论和机理上探讨了用露点法测定电子级气体中水含量低于-80℃露点的方法,指出,只要控制好镜面温度的下降速率,就可以实现测到-120℃以下露点。

作者尹恩华

机构地区中国科学院半导体研究所

出处《低温与特气》 CAS 1992年第1期41-42,共2页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词气体测定露点法水分电子气

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]

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低温与特气

1992年第1期

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