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铁电陶瓷薄膜与薄膜器件
被引量:
8
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摘要
介绍了铁电陶瓷薄膜的发展概况、制备技术、应用以及薄膜器件的制造和种类。
作者
姚熹
机构地区
西安交通大学
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
1992年第6期9-17,共9页
Materials Reports
关键词
铁电陶瓷
薄膜
分类号
TM28 [一般工业技术—材料科学与工程]
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