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铁电陶瓷薄膜与薄膜器件 被引量:8

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摘要 介绍了铁电陶瓷薄膜的发展概况、制备技术、应用以及薄膜器件的制造和种类。
作者 姚熹
机构地区 西安交通大学
出处 《材料导报》 EI CAS CSCD 1992年第6期9-17,共9页 Materials Reports
关键词 铁电陶瓷 薄膜
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