定向棱镜腔平顶高斯激光束特性的研究被引量：13

Properties of flattened Gaussian beam in directional prism cavity

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摘要在XeCl准分子激光器中 ,采用定向棱镜作为端反射镜与平面输出镜构成激光器谐振腔 ,获得了近场能量分布均匀、远场能量分布高度集中的相干平顶高斯激光束输出 ,并具有腔镜高抗失调能力。 A coherent flattened Gaussian beam has been obtained in the XeCl excimer laser with directional prism.The beam is well distributed in the near field and highly focused in the far field.Immunity to misalignment of excimer laser increases.

作者王小兵孙斌程勇王古常曾文锋王大勇

机构地区武汉军械士官学校光电技术研究所

出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期117-118,122,共3页 Laser Technology

关键词平顶高斯光束定向棱镜腔光束质量准分子激光器 flattened Gaussian beam directional prism cavity beam quality excimer laser

分类号 TN248.22 [电子电信—物理电子学] O435 [机械工程—光学工程]

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