摘要
本文报导了一体化小型XeCl准分子激光器的结构与特性,激光器体积100×40×27cm^3,重量50kg,单脉冲能量160mJ。
The structure and characteristic of a compact small XeC_1 excimer laser werereported. The laser volume was 100(L)×40(W)×27(H)cm^3, weight ～50kg.The single pulse energy of 160mJ was obtained.
出处
《量子电子学》
CSCD
1992年第2期170-172,共3页
