磁控溅射技术及其在材料科学中的应用被引量：5

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摘要本文综述了溅射技术的发展过程,着重介绍了磁控溅射技术的工作原理和特点,以及它在新材料合成、开发材料新用途、材料的表面改性,表面研究等材料科学诸领域中的应用概况及其前景。

作者叶志镇

机构地区浙江大学

出处《材料科学与工程》 CSCD 1989年第1期26-32,共7页 Materials Science and Engineering

关键词材料表面改性磁控溅射技术

分类号 TB304 [一般工业技术—材料科学与工程]

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相关文献

参考文献2

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