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微位移工作台静、动态特性实验系统被引量：1

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摘要采用柔性铰链精密工作台、电致伸缩微位移器驱动、微机控制方案,对精密微动工作台的静、动态特性进行测试,本文阐述了该系统的原理及其测试方法,给出了实验结果,提高了教学实验水平.

作者于水李庆祥白立芬

机构地区清华大学精密仪器与机械学系

出处《实验技术与管理》 CAS 2001年第4期22-25,共4页 Experimental Technology and Management

关键词特性测试微机控制微位移工作台柔性铰链精密仪器

分类号 TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]

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实验技术与管理

2001年第4期

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