常用的光学薄膜制备实验设备

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摘要真空镀膜法制备的薄膜质量好,生产率高,适应的范围广,已经成为光学薄膜制备的最重要的方法了,其中使用最普遍的两种方法是热蒸发沉积和溅射沉积[1],常用制膜设备包括真空镀膜设备、分光光度计和石英晶体振荡膜厚监控仪。

作者崔凯

机构地区新疆机械研究院股份有限公司

出处《科技与企业》 2014年第13期347-347,共1页 Science-Technology Enterprise

关键词光学薄膜实验设备

参考文献3

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科技与企业

2014年第13期

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