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高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统 被引量：3

A new type gridless hall ion beam assisted deposition system for preparing high quality optic thin films
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摘要 介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统。并对该系统的特点、性能和应用结果作了叙述。 This paper introduces a gridless Hall ion beam assisted deposition system.In this paper,the feature and performance of this ion surce are described.The preliminary results for preparing optic thin films are presented.
作者 冯毓材 江建国
机构地区 北京东方安泰克高技术有限公司 北京光电技术研究所
出处 《光学仪器》 2001年第5期45-48,共4页 Optical Instruments
关键词 无栅霍尔离子源 离子束辅助沉积 光学薄膜 制备 gridless hall ion source ion beam assisted deposition optic thin film
分类号 O484.41 [理学—固体物理] TB43 [一般工业技术]
  • 相关文献

参考文献2

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同被引文献17

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引证文献3

二级引证文献1

光学仪器
2001年 第5期

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