浅论气体压强对金刚石薄膜质量的影响
摘要
以甲烷、氢气做为气源,利用微波等离子气相沉积的方法在硅片上沉积金刚石薄膜。研究了不同压强对金刚石薄膜质量的影响。结果表明当气氛压强为9KPa时可获得高质量的金刚石薄膜。
出处
《中国新技术新产品》
2013年第12期55-56,共2页
New Technology & New Products of China
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