中国分子束外延技术的发展被引量：2

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摘要本文评述了我国自70年代中期开始分子束外延(MBE)研究以来的MBE设备、材料及器件应用的发展和现状。

作者孔梅影

机构地区中国科学院半导体所

出处《半导体情报》 1991年第6期2-4,共3页 Semiconductor Information

关键词分子束外延 MBE 量子阱异质结

同被引文献15

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半导体情报

1991年第6期

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