MBE Al源炉升温和降温工艺探讨

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摘要分析了在-196～660℃范围内温度及其变化速度对PBN坩埚和Al的机械性能的影响,进而分析了Al坩埚的热应力分布及变化。确定了Al坩埚的维持温度,指明了常用的升温和降温速度对Al坩埚破裂的影响并不明显。

作者武一宾张文俊张允清柏亚青崔立奇李明杰周章文

机构地区机电部第

出处《半导体情报》 1991年第6期95-97,共3页 Semiconductor Information

关键词分子束外延坩埚热应力升温降温

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半导体情报

1991年第6期

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