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压力变送器用全焊接结构的扩散硅敏感元件的研制被引量：4

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摘要本文介绍了研究开发全焊接结构的硅压力敏感元件的具体内容及解决的技术关键问题。对硅-玻璃-金属静电封接工艺做了一些论述。最后给出了研制的全焊接结构的扩散硅压力敏感元件的性能指标、测试结果。

作者秦秋石盖洪凯刘通张治国

机构地区机电部沈阳仪器仪表工艺研究所

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第1期24-30,共7页 Semiconductor Technology

关键词压力变送器硅敏感元件焊接结构

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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半导体技术

1991年第1期

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