摘要
本文设计了一种基于双法布里—珀罗干涉仪、采用计算机实时控制处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统 ,描述了该系统的工作原理 ,详细进行了系统的理论分析。提出了通过测量双法布里—珀罗干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ,分析了轻拍式探针的振动模型 ,给出了检测探针振幅变化的新方法及理论依据。
A new nanometre measurement system with dual Fabry Perot Interferometer (DFPI),real time computer control system and tapping stylus is designed,its principle of operation is described,and it is theoretically analyzed in detail.The theoretic basis for nanometre measurement,using the measurement of amplitude difference or equal amplitude time interval of DFPI transmission wave,is proposed.The vibration model of tapping stylus is set up and analyzed,the new method of measuring stylus amplitude is proposed.
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第4期380-383,共4页
Chinese Journal of Scientific Instrument
基金
国家自然科学基金
关键词
纳米测量
双法布里-珀罗干涉仪
理论分析
Nanometre measurement Dual fabry perot interferometer Theoretical analysis
